设备生产过程中会产生热量或产生一些含尘无害气体（浓度很低）★◈，因此GEX可以直接排放到大气环境当中★◈，不需做任何处理★◈；

　　;主系统;主系统;二次配;管阀件;曝光机设备排风;酸性★◈、碱性废气处理系统（SEXBEAT365BEAT365★◈、AEX）;对于含有酸性／碱性物质的废气★◈，半导体厂大都采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理★◈。由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远★◈，因此部分酸性／碱性废气在输送至中央废气处理系统前★◈，常因气体特性导致在管路中结晶或粉尘堆积★◈，造成管路堵塞后导致气体泄★◈，严重者甚至引发爆炸★◈，危害现场工作人员的工作安全★◈。因此在工作区域需配置适合制程气体特性的就地废气处理设备进行就地处理之后再排人中央处理系统★◈，;中央废气处理系统的核心设备是一种采用水洗式的

　　★◈。同样台湾18成人★◈，对于碱性排气洗涤塔BEAT365★◈，pH值通常控制在3～6★◈。;在系统实际操作运行中发现★◈，影响系统处理效率

　　1．5×lO5Pa以下★◈，保证充足的循环水量;主系统;主系统;主系统;二次配;卧式洗涤塔;立式洗涤塔;加药桶槽及加药泵;有机排气（SOL);VOC废气处理原理-（沸石转轮）;沸石浓缩转轮加焚化处理的系统处理原理;含有VOC的废气通过系统排风机排放至VOC处理系统★◈，90％的废气通过沸石转轮的吸附成为清洁空气排放至大气★◈，10％的废气被加热后进人脱附区★◈，用于对已经吸附有VOC成分的转轮部分进行脱附★◈，由于转轮在不停地旋转台湾18成人★◈，使得吸附和脱附的过程在同时不间断地进行★◈。脱附后的高浓度VOC废气通过焚化炉风机被送入焚化炉进行焚烧处理★◈。主要控制和运行参数包括转轮转速★◈、脱附风量★◈、脱附温度★◈、转轮冷却温度台湾18成人★◈、焚化炉温度等★◈。

　　VOC处理系统的主要运行成本来自于焚化炉的燃料消耗★◈，处理风量为50000m3／h的系统每年的天然气费用超过百万人民币★◈，因此如何在保证系统处理效率的前提下降低能源消耗是系统管理人员必须要考虑的问题★◈。在VOC处理系统所有的运行参数中★◈，对处理效率和燃气消耗影响最大的是脱附风量和焚化炉温度★◈。

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